日立X射线荧光镀层测厚仪FT160日立X射线荧光镀层测厚仪FT160是采用多毛细聚焦管技术和最新一代高分辨率硅漂移SDD探测器,用于超小点和超薄镀层厚度分析。通过X射线检测仪器的改良,在线路板和连接器等使用的Au、Pd、Ni、Cu(金、钯、镍、铜)多镀层检测中,其测量速度与本公司以往机型(FT150,以下相同)相比,提高了2倍以上。在FT160s里通过新开发的聚光导管也可以测量超小型芯片零部件的端子镀层厚度。而且跟以往机型相同,为操作员的安全和安心考虑,采用X射线泄露的可能性极小的密集型框架。新设计的样品室门采用大开口,同时保证了开启和关闭的便捷性。并且通过大型观察窗口,可以方便地取放和定位样品。另外,操作软件通过图标和便捷画面在提高了操作性的同时,可通过数据自动保存功能减轻操作员的业务。通过这些改进,FT160s系列实现了高精度迅速的镀层厚度测量,为测量工作的效率化和成本削减做出了贡献。
一、日立X射线镀层测厚仪FT160的特点
1、高强度X射线:仪器的核心所在是全新的毛细管聚焦光学系统,其产生的30um光束用于测量微小的半导体图案和超小型元件;
2、高灵敏的SDD检测器:这一高性能确保实施可重复性测量以提高生产力;
3、大型样品舱门:便于操作员装载和卸载线路板,晶片和组件,以便于FT160容纳各种形状的部件;
4、高清摄像机和多模式照明:样品观测摄像机的分辨率——16倍数码变焦——结合改进的照明,使半导体表面清晰锐利,便于精度定位;
5、易于使用的控制器软件:只需要在屏幕上选择电镀和测量点,然后运行分析;
6、测量含有从铝(13)到铀(92)元素的镀层厚度和成分。
二、日立X射线镀层测厚仪FT160型号配置
1、FT160 样品台及样品尺寸
样品台: 420 mm x 320 mm (宽 x 深).
样品台移动: 400 mm x 300 mm (宽 x 深).
样品大小: 400 mm x 300 mm x 100 mm (宽 x 深x 高).
仪器尺寸: 930 mm (宽) x 900 mm (深) x 710 mm (高).
2、FT160S 样品台及样品尺寸
样品台: 300 mm x 245 mm (宽 x 深).
样品台移动: 300 mm x 260 mm (宽 x 深).
样品大小: 300 mm x 245 mm x 80 mm (宽 x 深 x 高).
仪器尺寸:690mm (宽) x 900 mm (深) x 710 mm (高).
3、FT160L样品台及样品尺寸
样品台: 620 mm x 620 mm (宽 x 深 ).
样品台移动: 300 mm x 300 mm (宽 x 深 ).
样品大小: 600 mm x 600 mm x 20 mm (宽 x 深 x 高).
仪器尺寸: 1030 mm (宽) x 1260 mm (深) x 710 mm (高).
三、关于日立分析仪器
日立分析仪器是日立高新技术集团于2017年7月创立的性公司。该公司总部位于英国牛津,其在芬兰、德国和中国从事研发和装配业务并在多个地域开展销售和支持业务。我们的产品系列包括:
· FT160、FT110和X-Strata微焦斑XRF光谱仪,能测量单层和多层镀层(包括合金层)的镀层厚度,可成为质量控制或过程控制程序以及研究实验室的分析仪。
· EA1000、EA6000和HM1000 RoHS(有害物质限制指令)分析仪适用于RoHS 1和RoHS 2测试,使用便捷,能够很好适应限制指令的变化。
· DSC7000X、DSC7020、NEXT STA、STA7000、TMA7100、TMA7300和DMA7100系列热分析仪已经过优化,可检测小反应并使其可视化,同时具有坚固耐用、可靠且易于使用的特点。
· EA8000 x射线颗粒污染物分析仪用于锂离子电池生产中快速有效的质量控制。
· Lab-X5000和X-Supreme8000台式XRF光谱仪可为石油、木材处理、水泥、矿物、采矿和塑料等多种行业提供质量保证和过程控制服务。
· 我们的OE750、PMI-MASTER、FOUNDRY-MASTER和TEST-MASTER系列分析仪被世界各地的行业用于进行快速和准确的金属分析。该仪器采用直读光谱分析技术,可测定所有重要元素,能提供低检测限和高精度,包括钢中的碳和几乎所有金属中所有技术相关的主要和痕量元素。
· X-MET8000手持式光谱仪被成千上万的企业用于通过XRF精密技术进行简单、快速和无损的合金分析、废金属分拣和金属牌号筛选。
· 采用LIBS激光技术的Vulcan手持式光谱仪只需一秒即可识别金属合金,是世界上分析速度快的分析仪之一。这对需要处理大量金属的企业而言非常有利。