青岛微米自动化有限公司

青岛微米自动化有限公司设计研发的同轴多工位精密直线平台，采用00级研磨大理石基座，力士乐精密级直线导轨，RENISHAW RGH22 0.1um分辩率直线光栅尺，自主研发生产的U型无铁芯直线电机。达到单轴重复定位精度0.3um，定位精度0.6um，负载10kg，可以加速度20m/s2，可以速度1.3m/s，其大理石结构的高稳定性，和高机械刚性，使其XY双动子多工位能够完成高精度、低噪音、高动态响应的快速平稳运行。能够实现高低速定位和XY轨迹扫描等运行控制模式。 青岛微米自动化有限公司自主研发生产的U型无铁芯直线电机，无电磁吸力，无齿槽效应、零齿槽力，运动更加平稳，动子轻、速度高、加速度大、响应快，动子内部集成hall传感器使其换相更准、体积更小，运动行程相对增加，减少使用成本。定子模块化设计，运动行程可根据客户需要自主拼接。3大系列12种型号满足客户U型电机的各种应用需求。 目前本公司U型无铁芯直线电机批量应用于精密激光加工设备、半导体加工设备，划片机、光刻机等精密设备领域。其零齿槽力、动子轻、动态响应好等特点保证了高精密直线平台的高定位精度、稳定性、运行曲线更加平滑稳定。