青岛合顺合电子设备有限公司

氧化扩散炉应用于半导体分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，可用于2-8英寸工艺尺寸。 产品特点 ● 可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步 ● 工艺曲线的自动运行控制功能 ● 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能 ● 自动运行中可暂停／继续运行功能 ● 可存储多组PID参数供系统运行调用功能 ● PID参数自整定功能 ● 工艺气体的程序控制功能 ● 关键部件全部具有高可靠性 ● 具有良好的人机界面 ● 系统故障自诊功能 ● 停电后断点继续运行功能等等 ● 具有历史记录功能，可打印 ● 具有多点温度补偿 ● 该系统可根据用户的特殊要求增减开发相应的功能