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真空扩散炉费用,该系统主要功能如下:全中文操作界面,可编辑参数,操作简便;可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步工艺曲线的自动运行控制功能;自动运行中可暂停/继续运行功能;工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能;智能升降温斜率控制功能;PID参数自整定功能;可存储多组PID参数供系统运行调用功能;系统故障的检测与报警功能;系统误差修正(单点或多点动态修正功能);智能悬臂推拉舟控制功能;工艺气体的程序控制功能(电磁阀/质量流量控制器);停电后断点继续运行功能等;该系统可根据用户的特殊要求开发相应的功能。技术指标●温度范围:400℃~1300℃●恒温区长度:800mm●恒温区精度:±0.5℃(800℃~1300℃)●可控升温速率:15℃/min●可控降温速率:5℃/min(1300℃~800℃)●炉门温度:<80℃●真空度:≤2.0x10-3Pa
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