供应四氟化碳气体(四氟甲烷、全氟化碳)四氟化碳厂家

四氟化碳产品用途

  四氟化碳是目前微电子工业中用量大的等离子烛刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。

  1. 可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。对于硅和二氧化硅体系，采用CF4-H2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。

  2. 在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、

泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

  3. 由于化学稳定性极强，CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。

  4. 四氟化碳的溶氧性很好，因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功，在275米到366米的深度内，小白鼠仍可安全脱险。

广州市谱源气体有限公司是粤佳气体集团的特种气体销售公司。广州市粤佳气体集团是在原增城市新塘镇西洲乙炔气厂基础上发展壮大的一家综合性工业气体生产、经营企业。该厂成立于1993年，厂址位于广东省增城市新塘镇，交通便捷，地理位置好。是一家集标准气体和工业气体研制、开发、生产、销售为一体的专业公司，主要经营工业气体和无机气体，有机气体等高纯气体、专业为各行业定制混合气体和标准气体，同时提供相关气体设备和工程安装等，为电子、太阳能、半导体、电力、科研、照明、制药、石油化工、建材和食品等行业提供各种特种气体产品与技术服务，公司享有二十多年的行业资历。 公司由从事气体行业二十多年的资深技术人员创建，引进美国先进的气体生产技术、分析的设备和质量管理理念。目前，公司生产工艺和产品质量均达到国内先进水平，与国际、国内著名气体企业多有深度合作。公司主要产品包括原装进口氦气、六氟化硫、标准气体、氙气、高纯硅烷、超纯氨、四氟化碳、激光混合气、电光源混合气等等各种高纯气体产品，具有很强的竞争实力。