等离子刻蚀装置

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原理

通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。

 

应用范围：

该设备可以实现表面清洗清洁、表面活化、键合、去胶、金属还原、简单刻蚀、器械的消毒、去除表面有机物、疏水实验、镀膜前处理等。

 

等离子刻蚀装置参数：

序号 型号 CPC-A CPC-B CPC-C

1 舱体尺寸 275X110（直径）mm  295X150（直径）mm  295X150（直径）mm 

2 舱体容积 2.6L 5.2L 5.2L

3 射频频率 40KHz 40KHz 13.56MHz

4 射频功率 10-200W无极可调 10-200W无极可调 10-150W无极可调

5 电 源 220V 50/60HZ 220V 50/60HZ 220V 50/60HZ

6 电 流 1.2A 1.2A 1.2A

7 时间设定 1-99分59秒 1-99分59秒 1-99分59秒

8 气体稳定时间 1分钟 1分钟 1分钟

9 真空度 100pa以内 100pa以内 100pa以内

10 等离子激发方式 电容式 电容式 电容式

11 外形尺寸L*W*H  480*450*265mm 520*450*290mm 520*450*290mm

12 整机重量 15Kg 20Kg 25Kg

 

等离子刻蚀装置特点：

1、触摸式按键+4.3寸液晶显示屏，显示更清晰，操作更人性化

2、整机采用不锈钢材质，经久耐用，防锈防腐蚀

3、真空压力传感器和气体流量计均采用美国进口

4、 的双气路设计，气流控制更加便捷

5、智能控制系统可以实现手动模式和自动模式，任意切换

6、智能时间设定、功率设定等功能

7、使用方便，无需任何耗材

8、日常维护成本低，只需保持清洁。

 

科技创新 企业不断创造出优质的仪器，现有样品前处理仪器有石墨系列电热板、消解仪、酸纯化器、酸清洗器和等离子清洗机等等，受到了行业内的认可，我们将继续前行把更好的成果奉献给社会。

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