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本征区熔高阻硅片可以有效防止外延或扩散工艺中成品率，但是由于这种产品在生物工程领域应用广泛，其生物工程的特性和性能还需进一步研究。本征区熔高阻硅片具有效率较高的清洗的特点，能有效减少颗粒二次吸附，提高外延或扩散工序的成品率。在本征区熔高阻硅片的清洗剂中，可以使用一种叫作聚合物聚酯的化学物质。本征区熔高阻硅片在其清洗剂中的活性物质可以吸附在硅片表面，使其长期处于易清洗的物理吸附状态，并在表面成 保护层，防止颗粒的二次吸附，能有效提高外延或扩散工序的成品率。
在不同的清洗剂中，本征区熔高阻硅片表面的活性物质能够与其它材料相互吸附，这些活性物质能有效地降低了对外延和扩散工序的污染。本征区熔高阻硅片是一种高性能、低活性和高耐热性材料，它是一种高性能的电极材料。该材料在高温和高压下，具有很强的热稳定性，可以使硅片熔化。在本征区熔高阻硅片中活性物质的吸附量可以达到每公斤硅片的0毫克，对于不同规格的本征区熔高阻硅片，可以采用一种特殊的清洗剂，如果将其清洗剂与其它清洗剂混合使用时，其活性物质会发生变化。
