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本征区熔高阻硅片具有很好的阻隔性和吸附性能，该项目的成功实施为熔高阻硅片的生产、应用提供了新的技术支持。本征区熔高阻硅片在其清洗剂中的活性物质可以吸附在硅片表面，使其长期处于易清洗的物理吸附状态，能有效提高外延或扩散工序的成品率。本征区熔高阻硅片的清洗剂的应用范围（1）本征区熔高阻硅片清洗剂在水下生长、生产，可使其表面形成一层薄膜。（2）本征区熔高阻硅片清洗剂在水中生长、生产，可使其表面形成一层薄膜。
