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本征区熔高阻硅片在清洗剂中的活性物质含量虽低，但其中的氯化钠、氧化镁和氟化钙等含量也很低，因此不能说其活性物质是高阻硅片的主要原料。本征区熔高阻硅片具有效率较高的清洗的特点，能有效减少颗粒二次吸附，提高外延或扩散工序的成品率。在本征区熔高阻硅片的清洗剂中，可以使用一种叫作聚合物聚酯的化学物质。本征区熔高阻硅片的电子元器件可以通过与硅片表面相连接来实现高速运动和稳定性，本征区熔高阻硅片表面的活性物质能够与其它材料相互吸附，这种电子元器件可以用于清洗剂的生产和销售。
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