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产品描述:
利用检测头的连续运动形成结构光栅的相位变化。在运动的同时进行采样。
缺点:外界的震动影响较大,检测重复性较低。
优点:
1) PMP原理检测分辨率高,为0.37um。
2) 对PCB颜色不挑剔。
3)多次采样,检测重复性高于激光型设备。
4) 检测速度较FOV走停式快。
可编程结构光栅(PSLM)可编程结构光栅(PSLM):实现了对结构光栅运动的软件控制,避免了传统的压电陶瓷马达(PZT)驱动玻璃摩尔纹光栅所的机械装置,减少了机械磨损和客户维修成本。运用的相位轮廓调制测量技术(PMP),8比特的灰阶分辨率,达到0.37微米的检测分辨率,相比激光测量精度提高了2个数量级,大大提高了设备的检测能力和适用范围。
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