深圳市中图仪器股份有限公司

<p>中图仪器<b>表面3d轮廓仪</b>提供1100单镜头手动版和1200多镜头自动版两种机型，另可针对不同的客户需求，在两种型号间选取不同配置进行组合，让仪器切合客户需求。</p><p></p><p></p><p></p><p>&nbsp;</p><p></p><p></p><p></p><p><p><b>表面3d轮廓仪</b>在半导体、精密加工及微纳材料等领域可得到广泛应用，光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面线粗糙度、金字塔型磁头夹角、微透镜阵列曲率半径等，可测2D/3D轮廓、粗糙度，300余种特征参数。分辨率0.1μm，重复性0.1%，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件。</p><p>&nbsp;</p></p><p></p><p></p><p></p><p>产品功能</p><p></p><p>1）设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；</p><p></p><p>2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；</p><p></p><p>3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；</p><p></p><p>4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；</p><p></p><p>5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；</p><p></p><p>6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。</p><p>&nbsp;</p><p></p><p></p><p></p><p>技术参数</p><p></p><p>产品型号：SuperView&nbsp;W1系列</p><p></p><p>产品名称：光学3D表面轮廓仪</p><p></p><p>影像系统：1024×1024</p><p></p><p>光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）</p><p></p><p>干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）</p><p></p><p>XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈</p><p></p><p>Z轴行程：100mm，电动</p><p></p><p>Z向扫描范围：10mm</p><p></p><p>Z向分辨率：0.1nm</p><p></p><p>可测样品反射率：0.05%-100</p><p></p><p>水平调整：±5°手动</p><p></p><p>粗糙度RMS重复性：0.005nm</p><p></p><p>台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08%&nbsp;1σ</p><p></p><p>主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快</p><p></p><p>生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司</p><p></p><p>注释：更多详细产品信息，请联系我们获取</p><p>&nbsp;</p><p></p><p></p><p></p><p>&nbsp;</p><p></p><p></p><p></p><p>中图仪器<b>表面3d轮廓仪</b>可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。</p><br/>